此款升降机通过转角方式使基板同步升降,并用四点运动串连及六点运动串连和十二点运动串连,使基板高度降低,减少运动上的误差,同时,平面升降更能直接迅速达到效能,节省使用空间,提高产量,品质稳定性更高。
丝杆升降机又称螺旋传动机构。它主要用来将旋转运动变换为直线运动或将直线运动变换为旋转运动。有以传递能量为主的(如螺旋压力机、千斤顶等);也有以传递运动为主的如机床工作台的进给丝杠);还有调整零件之问相对位置的螺旋传动机构等。丝杆升降机有滑动摩擦机构和滚动摩擦机构之分。滑动丝杠螺母机构结构简单,加工方便,制造成本低,具有自锁功能,但其摩擦阻力矩大、传动效率低(30%~40%)。滚珠丝杠螺母机构虽然结构复杂、制造成本高,不能自锁,但其优点是摩擦阻力矩小、传动效率高(92%~98%),精度高,系统刚度好,运动具有可逆性,使用寿命长,因此在机电一体化系统中得到大量广泛应用。丝杆升降机机构1.工作原理丝杠4和螺母1的螺纹滚道间置有滚珠2,当丝杠或螺母转动时,滚珠2沿螺纹滚道滚动,则丝杠与螺母之间相对运动时产生滚动摩擦,为防止滚珠从滚道中滚出,在螺母的螺旋槽两端设有回程引导装置3,它们与螺纹滚道形成循环回路,使滚珠在螺母滚道内循环。传动形式根据丝杠和螺母相对运动的组合情况,丝杆升降机基本传动形式有的四种类型。(1)螺母固定、丝杠转动并移动,该传动形式因螺母本身起着支承作用,消除了丝杠轴承可能产生的附加轴向窜动,结构较简单,可获得较高的传动精度。但其轴向尺寸不宜太长,否则刚性较差。因此只适用于行程较小的场合。(2)丝杠转动、螺母移动,该传动形式需要限制螺母的转动,故需导向装置。其特点是结构紧凑,丝杠刚性较好。适用于工作行程较大的场合。